parker超高純束縛膜片減壓閥產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上*的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質量流量控制器）的性能，這對半導體生產(chǎn)的重復性和產(chǎn)量至關重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應。產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.

SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質譜儀以獲得在苛刻超高純應用中的性能和穩(wěn)定性.

市場:
• 半導體
• 分析試驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)

特點和優(yōu)勢:
• 有C 和 W密封貼面安裝1-1/8

parker超高純束縛膜片減壓閥性能特點

閥體材料

潔凈316L不銹鋼

壓縮構件材料

潔凈316L不銹鋼

隔膜材料

哈氏合金 C-22

閥芯材料

哈氏合金 C-22

閥座材料

PCTFE

帽材料

銅鍍鎳

螺母材料

不銹鋼

旋鈕材料

ABS (藍) (SMSQ2Micro)
ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)

爆破壓力

750 psig (52 barg)

可承受壓力

375 psig (26 barg)

流速

Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)

內(nèi)部泄漏率

< 5 x 10-8 cc/sec He

外部泄漏率

< 2 x 10-10 cc/sec He

體積

0.08 cm3

重量

0.9 lb
0.42 kg

表面處理

5微英寸粗糙度

大入口額定壓力

250 psig / 17 barg

出口額定壓力

-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)

高運行溫度

66 °C
150 °F

低運行溫度

-40 °C
-40 °F

更多產(chǎn)品詳見：parker膜片減壓閥